|
|||||
|
|
| NI视觉软件的光学元件厚度测量装置 | |
| 作者单位： | ;1.天津电子信息职业技术学院电子技术系 |
| 摘 要： | 介绍一种基于NI视觉软件的光学元件厚度测量装置。首先介绍光学元件厚度测量的基本原理-迈克尔逊等倾干涉;然后搭建光路,利用CCD进行干涉图像采集,传输到计算机中,利用NI视觉软件对图像进行处理,得出光学元件厚度;最后对测量误差产生的原因和消除途径进行了分析。该装置经过详实周密的数据处理,提高了测量精度和分辨力。 |
| 关 键 词： | 迈克尔逊干涉仪 等倾干涉 厚度测量 NI视觉软件 |
The Experimental Device for Measuring the Thickness of the Optical Elements Based on NI Vision Software |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |