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| MEMS运动分析仪在测量碳化硅谐振器谐振频率中的应用 | |
| 引用本文： | 张彦奎,周东营.MEMS运动分析仪在测量碳化硅谐振器谐振频率中的应用[J].中国科技纵横,2011(8):73-74. |
| 作者姓名： | 张彦奎 周东营 |
| 作者单位： | 三门峡市锅炉压力容器检验所,河南三门峡472000 |
| 摘 要： | 本次试验使用了美国UMECH公司的MEMSig动分析仪（MMA），使用过程中采集的谐振器图像为频率域数字散斑相关方法的实现提供了良好的实验样本。 |
| 关 键 词： | MEMS 谐振器 图像采集 |
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