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| 分光计的调整对椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率的影响 | |
| 引用本文： | 杨昌虎,杨力君.分光计的调整对椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率的影响[J].实验技术与管理,2005,22(11):40-41,118. |
| 作者姓名： | 杨昌虎 杨力君 |
| 作者单位： | 长沙理工大学物理与电子科学系,长沙,410077 |
| 摘 要： | 该文用了两个不同的薄膜样品，在两台不同的分光计上，用不同的入射角对薄膜的厚度和折射率进行了测量，并通过比较实验结果，说明了在用椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率的实验中，分光计的调整对实验结果的影响是可以忽略的。 |
| 关 键 词： | 椭圆偏振法 分光计 薄膜 厚度 折射率 |
| 文章编号： | 1002-4956（2005）11-0040-02 |
| 收稿时间： | 2005-03-14 |
| 修稿时间： | 2005-03-14 |
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