| 等离子体过程诊断与应用 |
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| 引用本文： | 管潇津.等离子体过程诊断与应用[J].保定师专学报,2004,17(2):21-24. |
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| 作者姓名： | 管潇津 |
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| 作者单位： | 保定师范专科学校物理系，河北保定071051 |
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| 摘 要： | 等离子体作为物质第四态，在宇宙中普遍存在．等离子体对表面材料、半导体材料的生成和制备提供了良好的环境，与之相关的等离子体状态诊断研究也显得非常重要。
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| 关 键 词： | 等离子体 过程诊断 电子温度 电子密度 |
| 文章编号： | 1008-4584(2004)02-0021-04 |
Diagnosis and Application of Plasma |
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| GUAN Xiao-jin.Diagnosis and Application of Plasma[J].Journal of Baoding Teachers College,2004,17(2):21-24. |
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| Authors: | GUAN Xiao-jin |
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| Abstract: | There is a great deal of plasma as the f ourth form of the substance in the uni verse.Plasma provides a favorable circums tance for the making of surface material and semiconductor material.At the same time,the diagnosing rese arch on the form of plasma is importan t. |
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| Keywords: | Plasma Diagnosis Temperature of electron Density of electron |
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