| 射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜的拉曼光谱分析 |
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| 引用本文： | 吴奎,刘亚丽,胡毅.射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜的拉曼光谱分析[J].郧阳师范高等专科学校学报,2007,27(6):38-40. |
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| 作者姓名： | 吴奎 刘亚丽 胡毅 |
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| 作者单位： | 郧阳师范高等专科学校,物理系,湖北,丹江口,442700 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金;广东省科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜，并应用显微拉曼光谱和电子显微镜对薄膜进行微区光分析．通过拉曼光谱研究，一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构，另一方面对薄膜的生长方式提供了线索．薄膜聚集点和平常点上有统一的相结构，电子显微镜观察结果显示薄膜致密均匀．
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 磁控溅射 拉曼光谱 晶体结构 生长方式 |
| 文章编号： | 1008-6072(2007)06-0038-03 |
| 修稿时间： | 2007年11月2日 |
Raman Spectroscopy Analysis of Nanometre TiO2 Film Made by Radio Frequency Magnetron Sputtering |
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| WU-Kui,LIU Ya-li,HU-Yi.Raman Spectroscopy Analysis of Nanometre TiO2 Film Made by Radio Frequency Magnetron Sputtering[J].Journal of Yunyang Teachers College,2007,27(6):38-40. |
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| Authors: | WU-Kui LIU Ya-li HU-Yi |
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