| 纳秒脉冲激光辐照非晶硅薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 袁珂,郝会颖,郑志远,黄强,张鸿儒.纳秒脉冲激光辐照非晶硅薄膜的研究[J].中国科技信息,2008(20). |
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| 作者姓名： | 袁珂 郝会颖 郑志远 黄强 张鸿儒 |
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| 作者单位： | 1. 中国地质大学材料科学与工程学院,北京,100083
2. 中国地质大学信息工程学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | 采用Nd:YAG纳秒脉冲激光.在不同能量下对沉积在石英衬底上的非晶硅薄膜进行辐照.光学显微镜,透射电镜、微区喇曼光谱分析表明,在能量50-60mJ/cm2辐照下,可制备出具有周期性排列的条纹结构,能量过大会使薄膜受损,激光辐照后薄膜组织的有序度提高.
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| 关 键 词： | 纳秒激光 硅薄膜 喇曼光谱 |
Study on the Amorphous Silicon Thin Films Irradiated by Nanosecond Pulse Laser |
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| Yuan Ke,Hao Huiying,Zheng Zhiyuan,Huang Qiang,Zhang Hongru.Study on the Amorphous Silicon Thin Films Irradiated by Nanosecond Pulse Laser[J].CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION,2008(20). |
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| Authors: | Yuan Ke Hao Huiying Zheng Zhiyuan Huang Qiang Zhang Hongru |
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