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| 溅射功率对掺镁氧化锌薄膜结构及厚度的影响 | |
| 引用本文： | 成桢.溅射功率对掺镁氧化锌薄膜结构及厚度的影响[J].西安文理学院学报,2015(1):60-62,83. |
| 作者姓名： | 成桢 |
| 作者单位： | 西安文理学院应用物理研究所 |
| 基金项目： | 西安市科技计划创新基金项目(CXY1352WL31) |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备掺镁氧化锌薄膜,利用SEM(扫描电镜)、XRD(X射线衍射)和椭偏仪等设备研究薄膜的表面形貌、成分、结构和厚度.结果表明,溅射功率没有对薄膜的生长方向产生较大影响,当溅射功率在40 W到100 W之间变化时,随着溅射功率的增大薄膜的结晶状况变好,晶粒尺寸变大,薄膜的厚度增加. |
| 关 键 词： | 掺镁氧化锌薄膜 磁控溅射 溅射功率 薄膜形貌 薄膜厚度 |
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