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线宽达0.08微米
引用本文:
樊荣.线宽达0.08微米[J].中国科教创新导刊,1998(8).
作者姓名:
樊荣
摘 要:
线宽达008微米目前最先进的商用半导体图样是用025微米的加工技术制出的,而半导体工业协会根据来自工业界、政府部门和大学300名科研人员的共同研究所设计的方案,要求公元2009年实现008微米线宽的目标。得克萨斯大学的重大突破之所以引人注目,是...
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