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| 纳米加工技术前景广阔 | |
| 引用本文： | 林金兰.纳米加工技术前景广阔[J].发明与创新,2003(6):19-19. |
| 作者姓名： | 林金兰 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 随着高科技的迅速发展,机械制造产品不仅面临着加工精度和表面质量的挑战,而且正面临着一个将加工和测量精度从微米(μm,10-6m)级提高到纳米(nm,10-9m)级的问题。这是人类对自然的认识和改造深入到了一个更新层次。纳米加工技术近年来有了突破性进展,已经成为现实的、有广阔发展前景的全新加工领域。一、纳米加工技术的特点众所周知,欲得到1纳米的加工精度,加工的最小单位必然在亚微米级。由于原子间的距离为0.10.3nm,纳米级加工实际已到加工的极限。纳米级加工是将试件表面的一个个原子或分子作为直接的加工对象,所以,纳米级加工的物理实质… |
| 关 键 词： | 纳米加工技术 加工精度 机械制造 扫描隧道显微加工技术 |
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