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应用纳米硅技术于质谱仪分析

引用本文：	李梦芝.应用纳米硅技术于质谱仪分析[J].中国科技信息,2014(10).

作者姓名：	李梦芝

作者单位：	东南大学;

摘要：	近几年纳米技术成为一项新兴热门的研究方向,并在多个领域取得瞩目的成就。将纳米硅运用于质谱仪分析技术中是纳米技术的一个创新方向与发展前景。从纳米技术的背景和质谱仪的检测原理入手,详细说明了两者的创新结合方式与该项技术的实际运用和优点。
关键词：	纳米硅质谱仪金属辅助刻蚀
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