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| 换能器间距对柔性声表面波器件性能的影响 | |
| 引用本文： | 何兴理、黄诗浩、林金阳.换能器间距对柔性声表面波器件性能的影响[J].福建工程学院学报,2020,0(4):349-352. |
| 作者姓名： | 何兴理、黄诗浩、林金阳 |
| 作者单位： | 福建工程学院信息科学与工程学院 |
| 摘 要： | 首先基于PEI基板磁控溅射ZnO薄膜，再在薄膜上的两端制备叉指电极，探讨了不同的叉指间距对这种柔性器件的影响。研究发现，当两个叉指式换能器(IDT)之间的距离增加时，谐振器的传输幅度会显著衰减。为了制造具有良好传输性能的器件，IDT之间的间距应小于声波波长的40倍。这些结果可以为柔性声波器件的发展提供参考。 |
| 关 键 词： | 叉指换能器 声表面波 氧化锌 |
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