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微纳技术应用中的快速频率响应测量方法
引用本文:Tomi Roinila,刘凯,席文明,雷李辉,俞骁,张惠国,Matti Vilkko.微纳技术应用中的快速频率响应测量方法[J].常熟理工学院学报,2013(4):39-45.
作者姓名:Tomi Roinila  刘凯  席文明  雷李辉  俞骁  张惠国  Matti Vilkko
作者单位:坦佩雷理工大学自动化科学技术系;厦门大学机电系;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室;常熟理工学院物理与电子工程学院
基金项目:江苏省自然科学基金资助项目“高灰阶低干扰LED显示驱动芯片关键技术研究”(BK2011366)
摘    要:频率响应测试技术作为一种有效的系统辨识技术,可用于开发新型全自动系统,如微注射等.由于缺乏快速、高效的测量方法,频率响应测试技术仍未得到广泛应用.典型的频率响应测试是采用传统的正弦扫描法,一次测量往往需要几分钟.本文提出一种快速测量方法,以最大长度的伪随机二进制序列作为激励信号,利用互相关技术处理输出信号,得到系统的特征频率响应.采用这种方法只需几秒钟就能获得频率响应的测试结果.对三种不同系统的实际测试结果证实了该方法的有效性.

关 键 词:微纳米技术  频率响应  激励信号设计  快速分析
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