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| 基于大数据分析的MEMS电镀铜薄膜耐磨性预测 | |
| 摘 要： | 当前方法MEMS电镀铜薄膜耐磨性的预测值与真实值拟合度较差,预测误差率高。提出基于大数据分析的MEMS电镀铜薄膜耐磨性预测方法研究,进行MEMS薄膜的电镀铜实验,提取薄膜镀层厚度和镀层均匀度的实验数据;利用提取的样本数据,采用智能支持向量机(SVM)的大数据预测方法,进行SVM模型构建和参数优化选择,提高数据分类和预测的精度,实现对MEMS电镀铜薄膜耐磨性的精确预测。实验证明提出的方法能够提高预测的精度、降低误差。 |
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