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| LED蓝宝石图形化衬底制备工艺研讨 | |
| 引用本文： | 蒋准,侯旭鹏.LED蓝宝石图形化衬底制备工艺研讨[J].科技风,2013(7):136. |
| 作者姓名： | 蒋准 侯旭鹏 |
| 作者单位： | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司,江苏无锡 214071 |
| 摘 要： | 近年来发展起来的蓝宝石图形化衬底(PSS)技术,不仅能减少生长在蓝宝石衬底上GaN外延材料的位错密度,延长LED使用寿命,还能提高LED芯片的出光效率,从而提高LED发光效率。本文着重介绍了蓝宝石图形化衬底的两种主流制备工艺及其优缺点,并比较了两种不同图形尺寸制备蓝宝石图形衬底的特点及对LED的光输出功率的改善,并展望了图形化衬底技术未来的发展方向。 |
| 关 键 词： | LED GaN 蓝宝石图形化衬底 出光效率 |
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