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| 光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术新进展 | |
| 引用本文： | 冯涛.光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术新进展[J].今日科苑,2010(14):27-27. |
| 作者姓名： | 冯涛 |
| 作者单位： | 青海民族大学 |
| 摘 要： | 本文介绍了光学薄膜离子柬辅助蒸发沉积技术的进展，介绍了离子源技术以及离子束辅助沉积技术对薄膜特性的影响。 |
| 关 键 词： | 光学薄膜 离子束辅助沉积 薄膜特性 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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