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类金刚石薄膜的过滤式阴极电弧沉积实验研究
引用本文:朱纪军,左敦稳,王珉,喇培清.类金刚石薄膜的过滤式阴极电弧沉积实验研究[J].东南大学学报,1999,15(1):3-1188.
作者姓名:朱纪军  左敦稳  王珉  喇培清
作者单位: 
摘    要:


类金刚石薄膜的过滤式阴极电弧沉积实验研究
Abstract:
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