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| Experimental Research of DLC Film Deposited by Filtered Vacuum Arc Evaporation | |
| 作者姓名： | 朱纪军 左敦稳 王珉 喇培清 |
| 作者单位： | 东南大学分子电子与生物电子学实验室，南京航空航天大学机电工程学院，兰州物理化学研究所摩擦润滑开放实验室 |
| 摘 要： | 本文研究了过滤式阴极电弧沉积方法获得的类金刚石薄膜．实验研究电弧的稳定性和探针电流与沉积参数的关系，并系统研究了膜层的性能．膜层的摩擦性能也得到了研究． |
| 关 键 词： | 类金刚石薄膜，过滤式阴极电弧沉积，原子力显微镜 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |