| DMD系统的环形光栅的设计和制作 |
| |
| 引用本文： | 孙智华,洪月辉,吴华明.DMD系统的环形光栅的设计和制作[J].九江师专学报,2007,26(3):16-17,29. |
| |
| 作者姓名： | 孙智华 洪月辉 吴华明 |
| |
| 作者单位： | [1]浙江工业大学信息工程学院,浙江杭州310000 [2]华中科技大学光电国家实验室,湖北武汉430000 |
| |
| 摘 要： | 本文讨论了基于数字微镜系统（DMD）的环形光栅的设计和制作方法。利用DMD系统，我们可以制作出低成本、半径可调的环形光栅，为使其集成到微光机电系统提供了一种可能。通过实验，我们获得了最大外半径为42．7μm的环形光栅。
|
| 关 键 词： | 数字微镜系统（DMD） 环形光栅 二元光学 |
| 文章编号： | 1673-4580（z007）03-0016-（02） |
| 收稿时间： | 2007-01-28 |
BESIGN AND FABRICATION OF CIRCULAR GRATING BASED ON DIGITAL MICRO - MIRROR DEVICE |
| |
| SUN Zhi - hua,HONG Yue - hui,WU Hua - ming.BESIGN AND FABRICATION OF CIRCULAR GRATING BASED ON DIGITAL MICRO - MIRROR DEVICE[J].Journal of Jiujiang Teacher's College,2007,26(3):16-17,29. |
| |
| Authors: | SUN Zhi - hua HONG Yue - hui WU Hua - ming |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | DMD system Circular gratings binary optics |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ |
|
