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介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证明了该传感器在工艺设计上的可行性。设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程,制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器。 相似文献
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《实验技术与管理》2013,(10):76-78
基于硅MEMS(micro-electromechanical systems)加速度传感器体积小(微米量级)、工作原理较抽象、课堂教学接受较困难等问题,构建了硅MEMS加速度传感器教学实验平台。该实验平台主要由加速度信号发生装置、高性能石英振梁加速度传感器、MEMS加速度传感器芯片、A/D转换电路、单片机数据采集及处理电路、液晶显示装置等组成。加速度信号发生装置提供不同的加速度信号。高性能石英振梁加速度传感器用于对MEMS加速度传感器的测试结果进行比对。测试结果表明,该实验平台性能良好,能够满足实验要求。该实验平台不但强化了对学生动手能力的培养,体现了实验教学与课堂教学的结合,也为传感器技术及应用、误差理论与数据处理等课程提供了重要支持。 相似文献
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结合实验室虚拟仪器集成环境(LabVIEW)开发简单的虚拟传感器应用界面,实验制作电涡流传感器。依据工作原理及制作工艺设计了合理的电涡流传感器的结构及信号调理电路,制作出探头直径为10 mm、测量范围2～3 mm、分辨率0.1 mm的电涡流传感器,并利用多参数曲线拟合方法进行测试标定。实际实验过程及结果表明,研制的传感器性能稳定可靠。 相似文献
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为克服传统薄膜厚度测量平行板电容传感器实验中灵敏度低的问题,提出具有较高厚度测量灵敏度的6电极平行板电容传感器。将理论分析与计算机数值模拟相结合,利用保角变换法、格林函数法和软件Matlab,讨论传统平行板电容传感器与6电极平行板电容传感器的电场,给出2种传感器的电容量表达式;在此基础上比较2种平行板电容传感器的灵敏度,结合软件Matlab数值模拟结果,得出6电极平行板电容传感器的灵敏度远高于传统平行板电容传感器的结论,并指出提升6电极平行板电容传感器厚度测量灵敏度的途径。 相似文献
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电桥电路以其自身的优点被广泛应用到检测电容、电阻等变化量中,如消除温度误差、抑制共模干扰信号、可测差动变化方向、较小的非线性误差、较高的精确度和灵敏度等,因此研究电桥电路具有重要意义。文章主要研究电桥电路的概述、工作原理,以及自动检测中调整差动电桥电路的方法。 相似文献
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纪爱国 《商丘职业技术学院学报》2013,(5):65-68
基于提供一种使用加速度传感器输出的信号进行倾角检测的目的,采用理论和实验相结合的方法,使用Matlab对加速度信号处理算法进行仿真分析的方法,从数学模型入手,分析了利用加速度传感器进行倾角测量的原理,并借助Matlab进行了仿真分析,进而得出了一个适合使用单片机对加速度信号进行数据处理的参数,同时还讨论了加速度传感器分辨率与倾角检测精度之间的关系. 相似文献
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This paper presents a novel micro fabrication method based on the laminar characteristics of micro-scale flows. Therein the separator and etchant are alternatively arranged in micro channels to form multiple laminar streams, and the etchant is located at the site where the reaction is supposed to occur. This new micro fabrication process can be used for the high aspect ratio etching inside a microchannel on glass substrates. Furthermore, the topography of microstructure patterned by this method can be controlled by changing the flow parameters of the separator and etchant. Experiments on the effects of flow parameters on the aspect ratio, side wall profile and etching rate were carried out on a glass substrate. The effect of flow rates on the etching rate and the micro topography was analyzed. In addition, experiments with dynamical changes of the flow rate ratio of the separator and etchant showed that the verticality of the side walls of microstructures can be significantly improved. The restricted flowing etching technique not only abates the isotropic effect in the traditional wet etching but also significantly reduces the dependence on expensive photolithographic equipment. 相似文献
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张平 《常熟理工学院学报》2001,15(4):23-25
提出用集成开关型霍尔传感器研究单摆的振动周期与幅角的关系，运用外推法较准确地测定单摆的振动周期，从而有效地完善了由单摆测重力加速度的实验原理，使传统经典实验充实了现代测量技术的新内容。 相似文献
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A novel fiber strain sensor is proposed, based on the two-mode interference of a suspended-core fiber. A fullvectorial finite difference mode solver is employed as the numerical tool for characterizing the proposed strain sensor. The numerical results show that the proposed strain sensor has an estimated sensitivity of 0.05 rad/(m·με), higher than that of the strain sensors using conventional multimode fibers, while the temperature sensitivity of the proposed sensor is relatively low. 相似文献
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微机电系统是一种集微电子电路和微机械致动器的微小器件,微传感器的性能检测可通过对系统输入量和输出量的检测,选择合适的测试仪器和测试方法来实现.根据角频率的推导,采用频率响应方法,其结果比通过传递函数数值分析得到的谐振角频率精确得多. 相似文献
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INTRODUCTION Measurement technology for gas-solid two phase flow has important applications in fields such as process measurement, forecast and control in in- dustry (Teng et al., 2002). At present, most optical measurement methods, such as LDV (Laser Doppler Velocimetry), Laser Dust Particles Measurement Device, use an optical sensor probe that only yields information on a single point or a partial area in the flow field and cannot yield instantaneous multi-ori- entation flow states.… 相似文献
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研制了一种严酷环境下使用的无线网络测风传感器,传感器由微型风速芯片、电子罗盘和主控及旋转部件构成微型风速芯片基于拖动力及热式原理设计、采用Mitcro EhIro Mchanical System（MEMSl技术制作而戍,由微型风速芯片和电子罗盘通过感应数据配合获得所测风的瞬时风速和风向信息,气象监测环境风传感器具体工作过程,其无线主控部件接收到测试命令后,采用旋转部件将微型风速芯片旋转一周,通过对比各时刻输出信息获得max位,由风速芯片与电子罗盘解析该时刻的数据即为所测的风速和风向信息,最后由负责传输的部件传输出去经初步测试,本设计特别适合用在高山、森林等环境恶劣的无线网络气象检测站 相似文献
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陈宏 《实验室研究与探索》2012,31(7):32-37,78
为了掌握实验设备的运行质量状况,从质量管理的角度出发,提出把实验设备纳入测量系统范畴的试验设计(DOE)方法。根据DOE的原理,在测量系统中用统计方法设计试验,采集、分析响应数据,确定测量系统的显著影响因素,从而对实验设备进行可靠性分析。采用DOE分析传感器测量系统可靠性的实例表明,DOE能够以相对少的实验运行次数,最大化掌握测量系统的有用信息,找出测量系统可靠运行的最佳状态,是高校实验设备可靠性分析的一种实用方法。 相似文献
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