芯片制造中的光学微纳加工技术前沿与挑战     

蒲明博  李向平  张杨  郑美玲  粟雅娟  曹耀宇  曹暾  徐挺  段宣明  冯帅  孙玲 《中国科学基金》2022,(3):460-467

基于第282期“双清论坛”,本文分析了我国未来芯片及其制造技术发展面临的国际形势、技术挑战和发展趋势,回顾了光学微纳加工技术近年来与光学工程、物理学、电子科学与技术、仪器科学与技术、集成电路科学与工程等多个学科领域交叉取得的主要进展和成就,凝练了未来芯片制造中光学微纳加工技术亟需解决的基础科学问题,展望了光学微纳加工技术科学前沿,探讨了未来5～10年我国在该领域亟待关注的研究方向。  相似文献