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设计了一种利用弹性铰链作为预紧机构、高精度滚动导轨作为导向机构的单PZT驱动的微进给平台。利用有限元方法对微进给平台的结构和静、动态特性进行了研究。在静态特性中着重分析了微进给平台的静态刚度,得出整个动平台的工作平面上的刚度分布图。在动态特性分析中着重研究了微进给平台的模态振型、固有频率和谐波激励响应,得出了激进给平台在动态激振力作用下的特性。最后分析了微进给平台工作平面上静态刚度和动态刚度变化很大的原因,并提出一些改进的措施。 相似文献
2.
采用弹性铰链作为预紧机构,采用压电陶瓷作动器作为驱动机构,设计了一种超精密磨削辅助工件平台。具有结构简单、位移分辨率高、动态响应速度快等优点。文中通过试验研究了其在开环和闭环控制下的静态和动态特性,结果表明,其中心部位静态刚度达到200N/μm,Z向的固有频率达到1289Hz。 相似文献
3.
超精密磨削微进给工件平台的研制 总被引：2，自引：1，他引：2
采用弹性铰链作为预紧机构，采用压电陶瓷作动器作为驱动机构，设计了一种超精密磨削辅助工件平台。具有结构简单、位移分辨率高、动态响应速度快等优点。中通过试验研究了其在开环和闭环控制下的静态和动态特性，结果表明，其中心部位静态刚度达到200N／μm，Z向的固有频率达到1289Hz。 相似文献
4.
为了消除压电陶瓷的迟滞、蠕变等非线性对定位精度的影响，采用了非线性PID控制算法来实现微定位工作台的实时控制。利用跟踪微分器对信号进行跟踪并得到其微分信号，提高了控制系统的鲁棒性。通过计算机仿真，验证了所设计的微定位工作台的特性和闭环控制算法的有效性。 相似文献
5.
对具有任意角度椭圆凹槽的弹性铰链的刚度进行了精确计算,得到其在不同载荷作用下刚度的精确解,并讨论了弹性铰链的刚度随椭圆长短轴之比变化时的情况。当椭圆的长短轴之比由1变化到无穷大时,即由圆形凹槽经过椭圆凹槽变化到矩形凹槽时,弹性铰链的刚度逐渐减小,由此引起的应力集中也逐渐减小,但是运动精度也随之降低。利用有限元方法对弹性铰链的刚度和运动精度进行了校验。 相似文献
6.
基于有限元分析的纳米级微进给平台设计 总被引：3，自引：0，他引：3
设计了一种利用弹性铰链作为预紧机构、高精度滚动导轨作为导向机构的单PZT驱动的微进给平台。利用有限元方法对微进给平台的结构和静、动态特性进行了研究。在静态特性中斡重分析了微进给平台的静态刚度，碍出整个动平台的工作平面上的刚度分布图。在动态特性分析中着重研究了微进给平台的模态根型、固有频率和谐波激励响应，得出了微进给平台在动态激振力作用下的特性。最后分析了微进给平台工作平面上静态刚度和动态刚度变化很大的原因，并提出一些改进的措施。 相似文献
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对具有任意角度椭圆凹槽的弹性铰链的刚度进行了精确计算，得到其在不同载荷作用下刚度的精确解，并讨论了弹性铰链的刚度随椭圆长短轴之比变化时的情况。当椭圆的长短轴之比由1变化到无穷大时，即由圆形凹槽经过椭圆凹槽变化到矩形凹槽时，弹性铰链的刚度逐渐减小，由此引起的应力集中也逐渐减小，但是运动精度也随之降低。利用有限元方法对弹性铰链的刚度和运动精度进行了校验。 相似文献
8.
为了消除压电陶瓷的迟滞、蠕变等非线性对定位精度的影响 ,采用了非线性PID控制算法来实现微定位工作台的实时控制。利用跟踪微分器对信号进行跟踪并得到其微分信号 ,提高了控制系统的鲁棒性。通过计算机仿真 ,验证了所设计的微定位工作台的特性和闭环控制算法的有效性 相似文献
9.
To improve the machining precision of a surface grinding machine, a micropositioning workpiece table with high performance was used as auxiliary infeed mechanism to implement nanometer level positioning and dynamic compensation. To better understand the characteristics of the grinding machine modulated with micropositioning workpiece table, the dynamic model of the grinding system was established with modal synthesis and Lagrange's equation methods. The grinding system was divided into five subsystems. For each subsystem, the generalized kinematic and potential energies were obtained. Accordingly the dynamic model of the grinding system was given in the modal domain. The waviness of the grinding process was achieved based on the wheel and workpiece vibration. A nonlinear proportional integral derivative (PID) controller with differential trackers was developed to realize dynamic control. The simulation results show that the machining accuracy of the workpiece can be effectively improved by utilizing the micropositioning workpiece table to implement dynamic compensation. An experimental test was carried out to verify the proposed method, and the waviness of the workpiece can be reduced from 0.46 μm to 0.10 μm. 相似文献
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