隐埋空气隙柔性凸点硅微加工制备工艺分析     

李鹏  潘开林  赵鲁燕 《科技通报》2021,37(10):83-86,94

柔性凸点技术是解决当前晶圆级封装柔性适应性的关键技术之一.对比了传统CWLP柔性凸点技术的基础上给出了新型隐埋空气隙柔性凸点结构,分析了采用隐埋空气隙的柔性凸点结构作用柔性适应性原理及特点.对比分析各类CWLP器件柔性凸点制备技术基础上,结合硅微加工工艺探讨并给出了隐埋空气隙的柔性凸点的完整结构制备工艺流程.结果表明,基于硅微加工技术制备隐埋于重分布铜互连线下方空气隙的柔性凸点结构制备工艺合理,应用所给出的制备工艺制造完成了 CWLP器件隐埋空气隙柔性凸点结构.  相似文献   

隐埋空气隙柔性凸点硅微加工制备工艺分析     

李鹏  潘开林  赵鲁燕 《科技通报》2021,37(10):83-86,94

柔性凸点技术是解决当前晶圆级封装柔性适应性的关键技术之一.对比了传统CWLP柔性凸点技术的基础上给出了新型隐埋空气隙柔性凸点结构,分析了采用隐埋空气隙的柔性凸点结构作用柔性适应性原理及特点.对比分析各类CWLP器件柔性凸点制备技术基础上,结合硅微加工工艺探讨并给出了隐埋空气隙的柔性凸点的完整结构制备工艺流程.结果表明,基于硅微加工技术制备隐埋于重分布铜互连线下方空气隙的柔性凸点结构制备工艺合理,应用所给出的制备工艺制造完成了 CWLP器件隐埋空气隙柔性凸点结构.  相似文献   

手表主夹板精冲孔模具结构改进     

赵鲁燕 《中国科技信息》2011,(7):151-151,153

针对手表主夹板精冲孔模结构进行改进,并对凸模固定板中少数坐标位置度超差孔进行精度修正,提高了手表主夹板精冲孔模具的冲孔坐标位置度精度及工作稳定性。  相似文献   

水果自动分拣机设计与研究     

白娜  赵鲁燕  李鹏 《科技通报》2023,(2):46-48+56

为提高种植农户对特型水果分拣效率，增加收益，本文研究设计了一种水果自动分拣设备。文中以柑橘为例进行分析计算，验证设计，结果符合预期。该设备造价成本低、操作方便、易于维护、经济性高，适合中小型农户作业生产，具有很好的市场价值。  相似文献