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为了研究十七氟癸基三甲氧基硅烷(FAS-17)含量对大气压氩DBD放电特性的影响,首先可通过电气特性测量及光学特性诊断,然后根据计算得出放电功率、传输电荷以及主要活性粒子的变化趋势,并结合机理分析,得到最优条件。实验结果表明:随FAS-17的增加,放电电流幅值略微下降,放电脉冲个数增加,放电功率和传输电荷都有一定程度的增加;放电细丝宽度变细、密度变小,放电颜色也由淡紫色转变为蓝紫色; Ar原子的活性粒子逐渐降低,F原子的发射光谱强度则呈现出先上升后降低的趋势,在FAS-17为5%时达到最大值。 相似文献
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