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本文提出了一种以等厚干涉为基础的光纤Fabry-Perot干涉仪用于测量微位移教学演示仪。微位移通过在压电陶瓷上加不同的电压产生,同时设计了可视化软件操作界面。本干涉演示仪具有结构简单,携带、操作方便,可视化效果好。通过对得到实验结果与压电陶瓷的特性曲线相比可以发现,实验结果与特性曲线一致性好,数值差一个固定的偏移量,通过修正可实现对微位移的准确测量。 相似文献
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采用激光干涉的方法,对压电陶瓷的压电特性进行观察和测量．主要是对压电陶瓷的振动幅度和驱动信号周期进行测量计算．采用单片机编程计时计数,计算驱动时间t和干涉条纹移动数目m,再编程算法求出压电陶瓷位移,最后将测量计算值送数码管显示． 相似文献
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在超精密加工制造等领域,为了满足大质量工件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷应用情况下的纳米级精密定位平台。该纳米微动承载台采用双闭式气浮导轨,由压电陶瓷致动器结合柔性铰链提供驱动,通过双频激光干涉仪实时监测终端承载台位移并实现闭环反馈控制,有效地克服了压电陶瓷致动器的非线性和迟滞效应,并消除了系统由于刚度不足而产生的不确定性干扰。在传统纯柔性铰链传动机构上增设了双气浮导轨承载台,增强了系统的载荷能力,气浮均化效应也提高了系统进给运行的直线性,双频激光干涉仪取代电容式或电阻式位移传感器的应用,从理论上扩展了行程,保证了平台进给的定位精度和长期稳定性。实验结果表明,在载荷为100 kg情况下,定位精度达±2 nm,行程大于10μm。 相似文献
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压电喷墨驱动器结构优化与仿真分析 总被引：1，自引：0，他引：1
压电驱动器利用逆压电效应作为压电喷墨打印机的核心驱动装置,其结构设计及参数优化决定喷墨质量的性能优劣。基于ANSYS软件平台对双压电圆膜陶瓷振子驱动器的振动位移、谐振频率、振动模态及其谐响应进行了计算机仿真研究,并对其材料选择、结构设计及其参数等进行了一系列的优化。实践表明,ANSYS仿真实验不仅为压电驱动喷射装置的系统设计、成型制造及实验研究提供理论依据,而且为学生创新能力和科研能力的培养提供了有利的平台。 相似文献
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将压电陶瓷片固定在迈克尔逊干涉仪的移动镜上,当加在压电陶瓷片上的驱动直流电压增加时,引起压电陶瓷的微小伸长进而引起移动镜的移动,引起光屏上干涉条纹环数目的变化;用线阵CCD(charge coupled device)作为光电传感器件捕捉干涉条纹的光强信号,再将电信号进行模数转换,采取USB接口与微机接口,用C++语言编写程序设计了一种新型的条纹自动计数软件,将这种计数方法与压电系数的测量结合起来,可以自动得出其压电系数. 相似文献
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采用弹性铰链作为预紧机构,采用压电陶瓷作动器作为驱动机构,设计了一种超精密磨削辅助工件平台。具有结构简单、位移分辨率高、动态响应速度快等优点。文中通过试验研究了其在开环和闭环控制下的静态和动态特性,结果表明,其中心部位静态刚度达到200N/μm,Z向的固有频率达到1289Hz。 相似文献