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采用弹性铰链作为预紧机构,采用压电陶瓷作动器作为驱动机构,设计了一种超精密磨削辅助工件平台。具有结构简单、位移分辨率高、动态响应速度快等优点。文中通过试验研究了其在开环和闭环控制下的静态和动态特性,结果表明,其中心部位静态刚度达到200N/μm,Z向的固有频率达到1289Hz。 相似文献
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超精密磨削微进给工件平台的研制 总被引：2，自引：1，他引：2
采用弹性铰链作为预紧机构，采用压电陶瓷作动器作为驱动机构，设计了一种超精密磨削辅助工件平台。具有结构简单、位移分辨率高、动态响应速度快等优点。中通过试验研究了其在开环和闭环控制下的静态和动态特性，结果表明，其中心部位静态刚度达到200N／μm，Z向的固有频率达到1289Hz。 相似文献
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《实验室研究与探索》2016,(11):72-75
为实现某些光学部件或高精度测量仪器快速驱动与定位,设计并实现了一套快速精密定位系统。该精密定位系统采用双闭式气浮导轨支撑工作台,直流力矩电机通过谐波减速器减速,以摩擦驱动的方式实现快速定位。以双频激光干涉仪作为最终位置反馈,有效地在定位过程中消除了系统在运动过程中形变和应力释放带来的不确定干扰。采用带有前馈算法的PID控制技术,通过调节各参数,使系统具有快速平滑的响应特性。相对于传统设计方式,在保证精度的同时,降低了系统的复杂程度,也降低了对加工工艺的要求。经过实验测试,定位精度可达176nm,单步稳定所需时间在2 s以内,满足精密定位需求。 相似文献
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设计一套以音圈电机为驱动电机,柔性铰链为支承元件,碟形弹簧为减震机构的微进给机构.柔性铰链采用双平行四杆机构的结构形式,计算了柔性铰链在音圈电机峰值推力作用下的最大输出位移和最大应力值.通过有限元分析柔性铰链在不同推力作用下的应力、应变图,发现在音圈电机最大推力800 N作用下,柔性铰链的最大应变为224．67μm.分析结果证明,所设计的直圆形双平行四连杆柔性铰链能够满足微进给机构的往复进给行程要求. 相似文献
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根据垂直扫描白光干涉仪的结构参数,设计了其系统中微位移定位机构的柔性铰链,并应用Ansys对其性能进行有限元分析。分析结果显示,该柔性铰链的性能能够满足垂直扫描白光干涉仪的工作要求。 相似文献
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目前大行程高精度驱动进给机构,用宏/微结合双驱动进给系统可以将宏动机构和微动机构的优点结合起来,不仅能使系统在大行程范围内具有较高的定位精度,并且能保证系统具有较高的响应速度. 相似文献
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《实验室研究与探索》2013,(12)
针对相移干涉测量系统中微位移的要求,研制了一种新型压电陶瓷微位移器及其驱动电源,该驱动电源采用集成功率运算放大器配合外围器件组成直流放大式结构,能够有效解决输出电压的非线性问题,减少自激现象,提高系统的稳定性。对研制的压电陶瓷微位移器进行了实验标定。经测试,研制的驱动电源具有驱动能力强、线性度好、重复性好等特点。干涉实验验证了研制的压电陶瓷微位移器性能的可靠性和位移的精确性。 相似文献