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基于有限元分析的纳米级微进给平台设计 总被引：3，自引：0，他引：3
设计了一种利用弹性铰链作为预紧机构、高精度滚动导轨作为导向机构的单PZT驱动的微进给平台。利用有限元方法对微进给平台的结构和静、动态特性进行了研究。在静态特性中斡重分析了微进给平台的静态刚度，碍出整个动平台的工作平面上的刚度分布图。在动态特性分析中着重研究了微进给平台的模态根型、固有频率和谐波激励响应，得出了微进给平台在动态激振力作用下的特性。最后分析了微进给平台工作平面上静态刚度和动态刚度变化很大的原因，并提出一些改进的措施。 相似文献
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阐述了一种以柔性铰链为核心部件的压弯微调机构,对柔性铰链在外加载荷作用下的受力情况进行分析,确定了柔性铰链的关键尺寸及介绍了柔性铰链材料的选取和加工方法.说明了采用此种压弯微调机构对平面晶体在水平面内实现聚焦功能的可行性和柔性铰链在同步辐射装置中的广泛应用性. 相似文献
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根据垂直扫描白光干涉仪的结构参数,设计了其系统中微位移定位机构的柔性铰链,并应用Ansys对其性能进行有限元分析。分析结果显示,该柔性铰链的性能能够满足垂直扫描白光干涉仪的工作要求。 相似文献
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设计了一种利用弹性铰链作为预紧机构、高精度滚动导轨作为导向机构的单PZT驱动的微进给平台。利用有限元方法对微进给平台的结构和静、动态特性进行了研究。在静态特性中着重分析了微进给平台的静态刚度,得出整个动平台的工作平面上的刚度分布图。在动态特性分析中着重研究了微进给平台的模态振型、固有频率和谐波激励响应,得出了激进给平台在动态激振力作用下的特性。最后分析了微进给平台工作平面上静态刚度和动态刚度变化很大的原因,并提出一些改进的措施。 相似文献
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在超精密加工制造等领域,为了满足大质量工件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷应用情况下的纳米级精密定位平台。该纳米微动承载台采用双闭式气浮导轨,由压电陶瓷致动器结合柔性铰链提供驱动,通过双频激光干涉仪实时监测终端承载台位移并实现闭环反馈控制,有效地克服了压电陶瓷致动器的非线性和迟滞效应,并消除了系统由于刚度不足而产生的不确定性干扰。在传统纯柔性铰链传动机构上增设了双气浮导轨承载台,增强了系统的载荷能力,气浮均化效应也提高了系统进给运行的直线性,双频激光干涉仪取代电容式或电阻式位移传感器的应用,从理论上扩展了行程,保证了平台进给的定位精度和长期稳定性。实验结果表明,在载荷为100 kg情况下,定位精度达±2 nm,行程大于10μm。 相似文献
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目前大行程高精度驱动进给机构,用宏/微结合双驱动进给系统可以将宏动机构和微动机构的优点结合起来,不仅能使系统在大行程范围内具有较高的定位精度,并且能保证系统具有较高的响应速度. 相似文献
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《实验室研究与探索》2016,(7):52-55
研制了在黑板上搭建平面连杆机构的实验装置,主要包括磁性铰链联接机构、磁性固定座、互换式杆件、带电源电机组件和其他功能组件。实验装置以教室黑板作为机架,利用磁性固定座与黑板之间的磁力将搭建的机构安置在黑板上;用磁铁与轴承的组合机构代替传统教具中的铰链联接,实现快速拆装,并运转灵活;将电池与电机组合成微动力机构,在无需外接任何电源线路的情况下,机构能在微动力机构的带动下在黑板上灵活运转。实验装置能够在不损坏黑板,快速搭建出平面连杆机构,具有体积小、质量轻、操作简单、成本低、无需使用外接电源,能组装多种平面机构等优点。 相似文献
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阐述了一种以柔性铰链为核心部件的压弯微调机构,应用理论力学、材料力学等传统力学方法及结合数学知识对这种压弯微调机构进行了详细的力学分析和推导。表明了压弯微调机构所受外加载荷和晶体压弯曲率半径的函数解析式,说明了晶体尺寸和压弯机构参数对晶体压弯精度的影响,且推导出的压弯晶体曲率半径函数式可以为类似的压弯机构设计提供力学基础。 相似文献
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对平面连杆机构的精度设计以及位置分析,应用复数极坐标计算法给予了论述．并以典型的四杆铰链机构为例。进行了位置分析． 相似文献
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In order to compensate for the limitation of conventional XY table used in semiconductor integrated circuits(IC) packaging and improve its speed and accuracy, a voice coil actuator (VCA) direct-drive high-speed and precision positioning XY table used in wire bonder was proposed. Also, a novel flexible decoupling mechanism was used in the positioning table, and the small moving mass enabled the positioning table to move at high speed and precision. XY table deformation interference caused by assembly error and instant interference generated by dynamic load moving with high speed and acceleration can be eliminated through the flexible decoupling mechanism. Considering the positioning table as lumped mass spring system,the dynamic equations of the mechanical system and the VCA were built according to the Newton mechanics principle and electromagnetic theory. Then the electromechanical coupling control model of the system was created through Laplace transform. Based on displacement PID controller, the loop-locked controlling algorithm of the positioning system was investigated. The dynamic control algorithm effectively improved the system dynamic performance. The precision test of the prototype machine was carried out, and the results validated the correctness of the model and the theory. Compared with traditional XY table, the table has higher speed, acceleration and positioning accuracy. 相似文献
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A parallel dynamic passive valveless micropump was designed, which consists of three layers-valve, diaphragm and electromagnetic coil. The valve was wetly etched in a silicon wafer, the diaphragm was a PDMS （polydimethyl siloxane） film spun on a silicon wafer with embedded permanent magnet posts, and the coil was electroplated on a silicon substrate. Under the actuation of the magnetic field generated by coils, the flexible diaphragm could be displaced upwards and downwards. After analyzing magnetic and mechanical characteristic of the flexible membrane and direction-dependence of the nozzle, a micropump was designed. And the relative length （L/d） of the micropump nozzle was taken 4. A 7 × 7 array of permanent magnetic posts was embedded in the PDMS film. Two diaphragms worked in an anti-step mode, which could relieve the liquid shock and increase the discharge of the micropump. The ANSYS and Matlab were adopted to analyze the actuation effect of the coil and the flow characteristic of the micropump. Results show that when actuated under a 0.3 A, 100 Hz current, the displacement of the diaphragm is more than 30 μm, and the discharge of the micropump is about 6 μL/s. 相似文献
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Vibrations inherently generated by on-board disturbance sources degrade the performance of the instruments in an on-orbit spacecraft, which have stringent accuracy requirements. The Stewart platform enables both track-positioning and vibration control. The strut of the Stewart platform is designed as a piezoelectric (PZT) element in series with a voice coil motor (VCM) element and a viscoelastic element. The track-positioning system uses a VCM as the main positioning control driver and a PZT as the positioning compensator. The vibration control system uses the characteristics of struts including active and passive control elements to attenuate the vibration. Simulation results indicate that the Stewart platform with the designed struts has good performance in tracking and vibration attenuation with different interference waves. 相似文献
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王慧 《淮南职业技术学院学报》2010,10(2):57-59
微铣削被认为是最柔性的加工方法之一,有着日益广阔的应用前景;介绍了微铣削加工技术的研究背景,并对其研究现状进行了评述,分析了微铣刀的特性和主要几何形状,并从切屑的形成、切削力和刀具磨损三个方面解析微铣削加工技术的加工机理及在研究与发展过程中存在的主要问题,讨论了微铣削技术的研究成果和发展前景。 相似文献
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借助ADAMS/CAR,对某FSAE赛车双横臂独立前悬架和转向系统建立多体动力学模型,并对其进行前轮同向跳动仿真,对下控制臂球头铰上移和下移后再次仿真.仿真结果表明,下控制臂球头铰位置的变化对前轮定位参数影响显著. 相似文献
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研制了一种严酷环境下使用的无线网络测风传感器,传感器由微型风速芯片、电子罗盘和主控及旋转部件构成微型风速芯片基于拖动力及热式原理设计、采用Mitcro EhIro Mchanical System（MEMSl技术制作而戍,由微型风速芯片和电子罗盘通过感应数据配合获得所测风的瞬时风速和风向信息,气象监测环境风传感器具体工作过程,其无线主控部件接收到测试命令后,采用旋转部件将微型风速芯片旋转一周,通过对比各时刻输出信息获得max位,由风速芯片与电子罗盘解析该时刻的数据即为所测的风速和风向信息,最后由负责传输的部件传输出去经初步测试,本设计特别适合用在高山、森林等环境恶劣的无线网络气象检测站 相似文献
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桂秋英 《涪陵师范学院学报》2007,23(5):129-132
权力必须置于有效监督之下。以民制权,即人民群众对权力的制约,是一种自下而上的社会监督。实现以民制权,必须构建起一系列社会监督的有效机制,包括:整体协调机制、权威支持机制、舆论性民意表达机制等。 相似文献