DCXRD分析Ge/Si（001）多层纳米岛材料     

时文华  薛春来  罗丽萍  王启明 《中国科技信息》2008,(1):285

结合透射电镜与原子力显微镜实验,用双晶X射线衍射方法分析了Ge/Si多层纳米岛材料,衍射的卫星峰可以被分解为两个洛仑兹峰,它们分别源于材料的浸润层区和纳米岛区。利用透射电镜得到Si和SiGe层的厚度比,估算出浸润层区与岛区的Ge组分分别为0.51和0.67,这是一种简单估算 Ge/Si多层纳米岛材料中Ge组分的方法。  相似文献